Aquest instrument adopta un mètode de mesura interferomètric de canvi de fase òptic sense contacte, no danya la superfície de la peça durant el mesurament, pot mesurar ràpidament els gràfics tridimensionals de la micro-topografia superficial de diverses peces i analitzar i calcular la mesura. resultats.
Descripció del producte
Característiques: Adequat per mesurar la rugositat superficial de diversos blocs de calibre i peces òptiques; la profunditat de la retícula del regle i el dial; el gruix del recobriment de l'estructura de la ranura de la reixa i la morfologia de l'estructura del límit del recobriment; la superfície del disc magnètic (òptic) i la mesura de l'estructura del capçal magnètic; Mesura de la rugositat de la superfície de l'hòstia de silici i l'estructura del patró, etc.
A causa de l'alta precisió de mesura de l'instrument, té les característiques de mesura tridimensional i sense contacte, i adopta un control informàtic i una ràpida anàlisi i càlcul dels resultats de la mesura. Aquest instrument és adequat per a tots els nivells d'unitats d'investigació de proves i mesuraments, sales de mesura d'empreses industrials i mineres, tallers de processament de precisió, i també és adequat per a institucions d'ensenyament superior i institucions de recerca científica, etc.
Els principals paràmetres tècnics
Interval de mesura de la profunditat de desnivell microscòpic de la superfície
En una superfície contínua, quan no hi ha un canvi brusc d'alçada superior a 1/4 de longitud d'ona entre dos píxels adjacents: 1000-1 nm
Quan hi ha una mutació d'alçada superior a 1/4 de la longitud d'ona entre dos píxels adjacents: 130-1 nm
Repetibilitat de la mesura: δRa ≤0,5 nm
Ampliació de la lent de l'objectiu: 40X
Apertura numèrica: Φ 65
Distància de treball: 0,5 mm
Camp de visió de l'instrument Visual: Φ0,25 mm
Fotografia: 0,13×0,13 mm
Ampliació de l'instrument Visual: 500×
Fotografia (observada per la pantalla de l'ordinador)-2500×
Matriu de mesura del receptor: 1000X1000
Mida de píxels: 5,2 × 5,2 µm
Temps de mesura Temps de mostreig (escaneig): 1S
Reflectivitat del mirall estàndard de l'instrument (alta): ~ 50%
Reflectància (baixa): ~4%
Font d'il·luminació: làmpada incandescent 6V 5W
Longitud d'ona del filtre d'interferència verda: λ≒530nm
Mitja amplada λ≒10nm
Elevació principal del microscopi: 110 mm
Elevador de taula: 5 mm
Interval de moviment en direcció X i Y: ~10 mm
Interval de rotació de la taula de treball: 360°
Interval d'inclinació de la taula de treball: ±6°
Sistema informàtic: P4, 2,8G o més, pantalla plana de 17 polzades amb 1G o més de memòria